自社開発商品

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基板エッチング装置
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基板エッチング装置

特徴

・キャリアをセットでエッチング、洗浄、リンスと自動搬送
・洗浄、リンス槽に温純水を自動排水、供給可能
・レシピ変更もパネルより一括変更可能
・温度制御により低音析出薬液も使用可能

FOUP OPENER
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FOUP OPENER

特徴

・各メーカFOUP/FOSBに対して、オープン/クローズ可能
・全てのプロセス装置にインストール可能
・OPENERのドア オープン/クローズ時ダブルマッピング
・全てモーター駆動によるなめらかな最適動作
・SEMI規格に完全準拠

WFアライメント装置
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WFアライメント装置

特徴

・アライメント位置記憶(ティーチング)機能
・アライメント位置2点設定
・キャリア歪みの影響を受けない構造。
・アライメント精度とローラー寿命の両立

ウェハーソーター(枚葉移載機)
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ウェハーソーター(枚葉移載機)

特徴

・SECS/GEM 通信機能
・ウェーハID読み取り機能
・ウェーハの分割、統合、並び替え機能

計数包装機
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計数包装機

特徴

・ワーク袋詰め作業の省力化・効率化
・タッチパネルからの操作で設定もワンタッチ
・コンパクト設計でメンテナンスも容易

スピンドライヤー
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スピンドライヤー

特徴

・ウェーハの高速回転による乾燥装置
・タッチパネルから回転数、回転時間のレシピ変更が可能
・ULPAフィルタを配置し大量自然吸気によるエコ乾燥
・温風機追加により熱風乾燥も可能

EFEM/ウェハエッジ検査機
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EFEM/ウェハエッジ検査機

特徴

・300mmウェーハ対応FOUP OPENER
・デュアルアームロボット&アライナー機能
・スムーズな速度制御とスマートな動作
・SECS/GEM通信
・SEMI規格準拠

ウェハーソーター(枚葉移載機)
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ウェハーソーター(枚葉移載機)

特徴

・SECS/GEM 通信機能
・分割・統合処理
・並び替え機能

バッチ式WF移載機
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バッチ式WF移載機

特徴

・モーターの加減速制御により、接触時の発塵を防止
・V溝形状で端面だけでのハンドリング
・ウェーハ持上げ時、トランスファー時の過負荷検出
・全ウェーハを一括移載で高スループットを実現。

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